Чистая рабочая зона и локальная чистая зона
Зона внутри чистого помещения на высоте 0,8–1,5 м над полом (за исключением случаев, когда применяются специальные технологические требования).
Локальная чистая зона
Локальная область внутри помещения, в которой концентрация пыли в воздухе достигает заданного класса чистоты.
[Ссылка] В зависимости от потребностей технологического процесса чистая область может быть создана во всём помещении или локально. Критические технологические зоны требуют самого высокого класса чистоты и строжайшего контроля, однако область, которую необходимо контролировать, часто бывает небольшой; поэтому обеспечение высокой чистоты во всём помещении является совершенно нецелесообразным как с точки зрения строительных, так и эксплуатационных затрат.
[Ссылка] Чистая зона — это определённое пространство, в котором контролируется концентрация взвешенных в воздухе частиц; она может быть открытой или закрытой.
[Ссылка] Локальная чистая зона класса 100 является подходящим способом локального обеспечения высокой чистоты (класс 100), то есть область с классом чистоты 100, создаваемая в локальной части помещения с помощью локального однонаправленного потока воздуха для защиты критической области.