Khu vực trong phòng sạch ở độ cao 0,8～1,5 m so với sàn (trừ các trường hợp có yêu cầu quy trình đặc biệt).

Vùng sạch cục bộ

Một khu vực cục bộ trong phòng mà nồng độ bụi trong không khí đạt cấp độ sạch quy định.

[Tài liệu tham khảo] Tùy theo nhu cầu quy trình, khu vực sạch có thể được đạt được cho toàn bộ phòng hoặc cục bộ. Các khu vực quy trình quan trọng yêu cầu cấp độ sạch cao nhất và kiểm soát chặt chẽ nhất, nhưng khu vực cần kiểm soát thường không lớn; vì vậy việc đạt độ sạch cao cho toàn bộ phòng sẽ khá bất hợp lý về cả chi phí xây dựng lẫn chi phí vận hành.

[Tài liệu tham khảo] Vùng sạch là một không gian được xác định trong đó nồng độ hạt lơ lửng trong không khí được kiểm soát; vùng này có thể hở hoặc được bao kín.

[Tài liệu tham khảo] Vùng sạch cục bộ Cấp 100 là cách thức phù hợp để đạt độ sạch cao (Cấp 100) cục bộ, tức là một khu vực có cấp độ sạch Cấp 100 được thiết lập tại một khu vực cục bộ của phòng bằng luồng một chiều cục bộ, nhằm bảo vệ khu vực quan trọng.