พื้นที่ภายในห้องสะอาดที่ระดับความสูง 0.8～1.5 ม. จากพื้น (ยกเว้นในกรณีที่มีข้อกำหนดพิเศษของกระบวนการ)

เขตสะอาดเฉพาะที่

พื้นที่เฉพาะส่วนภายในห้องซึ่งความเข้มข้นฝุ่นในอากาศเป็นไปตามระดับความสะอาดที่กำหนด

[อ้างอิง] ตามความต้องการของกระบวนการ สามารถทำให้เกิดพื้นที่สะอาดได้ทั้งห้องหรือเฉพาะที่ก็ได้ พื้นที่กระบวนการวิกฤตต้องการระดับความสะอาดสูงสุดและการควบคุมที่เข้มงวดที่สุด แต่พื้นที่ที่ต้องควบคุมมักไม่ใหญ่มาก ดังนั้น การทำให้ทั้งห้องมีความสะอาดระดับสูงจึงไม่สมเหตุสมผลทั้งในด้านต้นทุนการก่อสร้างและต้นทุนการดำเนินงาน

[อ้างอิง] เขตสะอาดหมายถึงพื้นที่ที่กำหนดขึ้นซึ่งมีการควบคุมความเข้มข้นอนุภาคแขวนลอยในอากาศ อาจเป็นแบบเปิดหรือแบบปิดก็ได้

[อ้างอิง] เขตสะอาดเฉพาะที่คลาส 100 เป็นวิธีที่เหมาะสมในการทำให้เกิดความสะอาดระดับสูง (คลาส 100) เฉพาะที่ กล่าวคือ เป็นพื้นที่ที่มีระดับความสะอาดคลาส 100 ซึ่งจัดตั้งขึ้นในพื้นที่ส่วนหนึ่งของห้องโดยใช้การไหลแบบทิศทางเดียวเฉพาะที่ เพื่อปกป้องพื้นที่วิกฤต