Area di dalam ruang bersih pada ketinggian 0,8～1,5 m di atas lantai (kecuali jika terdapat persyaratan proses khusus).

Zona bersih lokal

Area lokal di dalam ruangan yang konsentrasi debu pada udaranya mencapai kelas kebersihan yang ditetapkan.

[Referensi] Tergantung pada kebutuhan proses, area bersih dapat diwujudkan untuk seluruh ruangan atau secara lokal. Area proses kritis memerlukan kelas kebersihan tertinggi dan pengendalian paling ketat, namun area yang perlu dikendalikan seringkali tidak luas; mencapai kebersihan tinggi untuk seluruh ruangan karena alasan ini akan sangat tidak masuk akal, baik dari segi biaya konstruksi maupun biaya operasional.

[Referensi] Zona bersih merujuk pada ruang terdefinisi di mana konsentrasi partikel tersuspensi di udara dikendalikan; zona ini dapat berupa area terbuka maupun tertutup.

[Referensi] Zona bersih lokal Kelas 100 adalah cara yang tepat untuk mencapai kebersihan tinggi (Kelas 100) secara lokal, yaitu area dengan kelas kebersihan Kelas 100 yang dibentuk di area lokal ruangan melalui aliran searah lokal, guna melindungi area kritis.